目前，在微芯片制造技術(shù)中，大多數(shù)用于半導(dǎo)體加工和制造的冷卻器都用于200和300 MM工藝。

200和300 MM的大小就是制造微芯片的硅基板或晶圓的大小。基板越大，則處理越有效，因?yàn)榛逶酱?，每個(gè)晶片意味著更多的芯片。

半導(dǎo)體冷水機(jī)與現(xiàn)成的冷水機(jī)有幾個(gè)主要區(qū)別。關(guān)鍵的區(qū)別在于散熱方法以及半導(dǎo)體制冷機(jī)的功能和/或安全機(jī)制。

首先讓我們看一下散熱，使用機(jī)電制冷的冷水機(jī)將熱量散發(fā)到空氣或水源。大多數(shù)半導(dǎo)體制造商都喜歡水冷式冷卻器，因?yàn)樗鼈儧]有在潔凈室中循環(huán)灰塵和其他小
顆粒的風(fēng)扇。（大多數(shù)半過程發(fā)生在無塵室中）。水冷式冷卻器通常設(shè)計(jì)為使用最少數(shù)量的設(shè)備冷卻水以產(chǎn)生所需的冷卻效果。這可以通過適當(dāng)確定蒸發(fā)器的尺寸
來實(shí)現(xiàn)。對(duì)于任何水冷式冷卻器，將需要最少量的水以使制冷系統(tǒng)在給定的熱負(fù)荷下運(yùn)行。正是這種低流量的水量旨在減少用水量，能源消耗，減少管道尺寸并因
此降低材料成本。

現(xiàn)在，對(duì)于“現(xiàn)成的”冷卻器和用于半導(dǎo)體工藝的冷卻器之間的最大區(qū)別是SEMI-S2-0703代碼。這是一個(gè)安全代碼，闡明了為了保持SEMI行業(yè)要求的高安全標(biāo)準(zhǔn)，
冷水機(jī)組必須包括和不包括的內(nèi)容。

該代碼的重點(diǎn)指出了半導(dǎo)體制冷機(jī)的以下先決條件：

• 具有110％儲(chǔ)水箱或水箱容納容量的滴水盤
• 滴盤檢漏儀不是必需的，而是經(jīng)常采用的。由于某些半導(dǎo)體傳熱流體的介電特性，通常使用光學(xué)泄漏檢測器來確保即使是非導(dǎo)電性流體泄漏也能被快速檢
• 測到并傳達(dá)給冷卻器主控制器。
• 具有干觸點(diǎn)的EMO或EMS，可以連接到半導(dǎo)體制造設(shè)備的EMO電路中。
• 安全開關(guān)，例如水箱液位，低流量和溫度高警報(bào)。此處的主要區(qū)別在于，所有安全警報(bào)必須具有硬件類型的開關(guān)，而不是軟件，如果冷卻器溫度達(dá)到高溫
• 警報(bào)的預(yù)定溫度設(shè)置，則該軟件會(huì)關(guān)閉冷卻器并發(fā)出遠(yuǎn)程警報(bào)信號(hào)，例如50℃。顯然，許多其他安全監(jiān)視機(jī)制用于根據(jù)客戶的需求監(jiān)視各種冷水機(jī)組狀況。
• 其他安全監(jiān)控器可能是泵過載設(shè)備，水質(zhì)/純度監(jiān)控器（例如電阻率或電導(dǎo)率監(jiān)控器），設(shè)施冷卻水監(jiān)控等等。
• 觸電，所有SEMI冷水機(jī)都必須在所有外部面板上使用低壓控制（5 -24VAC或VDC），單電源線入口除外。對(duì)于多根電源線入口可能會(huì)做出一些特殊規(guī)定。
• 防震裝置，所有SEMI冷水機(jī)必須設(shè)計(jì)成具有穩(wěn)定的非傾翻重心，并包括通過抗震等級(jí)的支架和螺栓將冷水機(jī)安裝到地面的規(guī)定。

簡而言之，這八個(gè)差異是使半導(dǎo)體冷卻器與標(biāo)準(zhǔn)冷卻器不同的主要因素。